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装备制造
一种电火花线切割单晶硅的放电间隙控制系统及控制方法

专利号

201810073299.1

专利类型

发明专利

申请日

2018-1-25

专利权人

5139 vip威尼斯人

授权日

2020-6-26

法律效力

授权

摘要

 

本发明公开的电火花线切割单晶硅的放电间隙控制系统,包括电火花线切割机床和脉冲电源,电火花线切割机床的单晶硅工件和切割线分别连接于脉冲电源的正极和负极上,电火花线切割机床的单晶硅工件进给方向依次设置有步进电机和电机驱动器,电机驱动器通过AD转换器依次连接有数据采集器和计算机,电火花线切割机床的放电回路分别串联有采样电阻,且采样电阻与AD转换器连接,使加工过程中电火花放电间隙保持在合理的范围内,避免开路或者短路的产生,提高了单晶硅工件的表面质量,本发明的的放电间隙控制方法,对于实现单晶硅半导体的电火花线切割加工,获得良好的晶片加工表面质量和加工效率具有重要的意义。