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装备制造
一种透明薄膜厚度测量方法

专利号

201711053841.9

专利类型

发明专利

申请日

2017-10-31

专利权人

5139 vip威尼斯人

授权日

2020-5-22

法律效力

授权

摘要

 

本发明提供一种透明薄膜厚度测量方法,包括:白光光源发出的平行光经过三角棱镜组反射到数字微镜器件上呈条纹光,条纹光经过三角棱镜组透射到准直透镜组,通过准直透镜组进行光路准直后透射到扩束镜组进行扩束;分光镜将扩束后的条纹光透射到色散汇聚物镜组上,色散汇聚物镜组将不同颜色的光汇聚在透明薄膜的上下表面,透明薄膜的上下表面将不同颜色的光反射回到分光镜;分光镜反射回来的光经过色散棱镜,色散棱镜将光按照不同波长色散开并经过汇聚目镜汇聚到视觉传感器的不同位置,根据视觉传感器中图像不同列的光强中心之间的距离,计算出透明薄膜的上下表面的距离,即可获得透明薄膜的厚度;该测量方法能有效的提高测量精度和效率。